東北大学大学院 工学研究科 電子工学専攻
超微細電子工学講座
齊藤・小川研究室
FACILITY
GB対応真空&
特殊ガス対応管状炉
真空中や特殊ガス雰囲気中での熱処理を行うことができます。熱処理後は大気暴露することなく、隣接するグローブボックスへ試料を搬送可能です。
グローブボックス
不活性ガス置換により酸素・水分濃度をppmオーダーまで低減した環境を作れます。この中で、合成や成型などの試料調製や秤量等の分析も行うことが可能です。
グローブボックス対応
ケミステーション
グローブボックス内に導入されており、不活性雰囲気下で金属ナノ粒子を合成することが可能です。
ボックス炉
特殊ガス雰囲気中で熱処理を行うことができます。
マイクロ波合成装置
マイクロ波による急速加熱で熱処理を行うことができます。サンプルを容器内に封入することで圧力を加えながら熱処理を行うことが可能です。
急冷用管状炉
熱処理後に、サンプル容器を滑り落して急冷することが可能な管状炉です。
高温化学合成ヒーター
最大400℃まで加熱可能なヒーターを搭載した粒子化学合成装置です。
高真空管状炉
10^-6Torr台の真空中で熱処理を行うことが可能です。
特殊雰囲気
磁場中熱処理炉
特殊ガス雰囲気中で、最大磁場6テスラを印加しながら試料を熱処理することが可能です。
熱処理炉1号機
水素、アンモニアなど様々な雰囲気で1000℃程度まで加熱が可能な管状炉です。試料の合成に用います。
熱処理炉2号機
1号機の互換である管状炉です。試料の合成に用います。
熱処理炉3号機
1号機、2号機の機能のほか、加湿装置により露点を調整して熱処理を行うことが可能な管状炉です。
熱処理炉4号機
不活性ガス(窒素、アルゴン等)中で熱処理が可能な管状炉です。1500℃程度までの超高温条件が適用可能です。
ボールミル
試料の粉砕・混合に用いるボールミルです。不活性雰囲気での使用も可能です。
コア作成用プレス機
コアの作成のために高い圧力をかけることが可能なプレス機です。油圧式ポンプにより駆動します。
グローブボックス
窒素雰囲気で試料の取り扱いが可能なユニコ製グローブボックスです。