東北大学大学院 工学研究科 電子工学専攻
超微細電子工学講座
齊藤・小川研究室
FACILITY
in-situX線回折装置
水素やアンモニア等の特殊ガス雰囲気中で熱処理を行いながら、X線回折測定を行うことができます。
グローブボックス対応
プローバシステム
グローブボックス内に導入されており、不活性雰囲気下で四端子法を用いてバルクや薄膜試料の電気抵抗測定を行うことが可能です。
サンプルチェンジャー付
X線回折装置
鉄系材料の評価に優れたCo-Kα線を用いたX線回折装置で、最大9個のサンプルまで自動測定が可能です。
湿式乾式粒度分布計
水系および非水系の湿式において粒子の粒度分布の評価を行うことが可能です。また、乾式においても粒度分布の評価が可能です。
熱分析装置
TGやDTAなどの試料の発熱・吸熱特性を評価することが可能です。簡易グローブボックスと組み合わせ、不活性雰囲気での評価も可能です。
分散溶液用
粒度分布計
湿式における粒度分布評価が可能です。また、試料溶液のゼータ電位測定も可能です。
XRD
コバルト線源を使用したリガク製X線回折装置です。高強度、高分解能で試料の同定、構造解析に威力を発揮します。